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 北海道大学 量子集積エレクトロニクス研究センター
       
MBEエレクトロニクスGr.
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主要実験装置 (センター共通のものを含む)
超高真空一貫マルチチャンバシステム 分子線エピタキシャル（MBE）結晶成長装置
超高真空一貫マルチチャンバシステム
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分子線エピタキシャル（MBE）結晶成長装置
マスクアライナー（フォトリソグラフィ室） 超伝導マグネット
マスクアライナー（フォトリソグラフィ室）
 　
超伝導マグネット
プローバー 透過型電子顕微鏡（TEM）
プローバー
 　
透過型電子顕微鏡（TEM）
走査型電子顕微鏡（SEM） 原子間力顕微鏡（AFM）走査型トンネル顕微鏡（STM）
走査型電子顕微鏡（SEM）
 　
原子間力顕微鏡（AFM）
走査型トンネル顕微鏡（STM）
その他
PL、CL、ラマン分光装置、FTIR、XRD、ネットワークアナライザ、希釈冷凍機、FIBなど

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