TOP
>
主要設備
> 超高真空一貫マルチチャンバシステム
メンバー
新着情報
研究内容
研究業績
主要設備
その他の活動
MBEトップ
主要設備
超高真空一貫マルチチャンバシステム(量子集積エレクトロニクス研究センター/クリーンルーム1F)
RIBE
PL
Contactless C-V
MBE
XPS
ECR-CVD
STM
EB evaporator/PECVD
Copyright(C) 2004 RCIQE, Hokkaido University. All Rights Reserved.