量子知能デバイス研究室・呂任鵬君(M2)がAWAD2019でYoung Research Oral Awardを受賞しました!
量子知能デバイス研究室・呂任鵬君(M2)がAWAD2019(2019 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices,
Busan, Korea, July 1-3, 2019)でYoung Research Oral Awardを受賞しました。
論文タイトル
Formation and Characterization of 2D Random Si Nano-Pattern Using Resist Collapse for Nano-Artifact Metrics
著者
Renpeng Lu, Katsumi Shimizu, Xiang Yin, Yosuke Ueba, Mikio Ishikawa, Mitsuru Kitamura, and Seiya Kasai